作為晶棒當中的一種,半導體晶棒的使用在我們生活當中十分的普遍,這一點想必大家一定不陌生吧,那么你知道半導體晶棒在制作過程當中的流程都有哪些嗎?下面就讓杭州半導體晶棒的小編為你介紹下。
1、當晶棒長度達到預定值時,提升速度逐漸加快,熔化溫度逐漸升高,使晶棒直徑逐漸減小,從而避免了熱應力引起的偏移、滑移等現(xiàn)象的發(fā)生,使晶棒與液面完全分離。此時,獲得了完整的晶體棒。
2、切割和測試2個晶體棒
從生長的晶體棒上去除直徑較小的頭部和尾部,并測試其尺寸以確定下一步的工藝參數(shù)。
3、外徑磨削
晶體棒在生長過程中,其外徑和圓度有一定的偏差,其外圓柱面也不平整,因此必須修整和研磨外徑,使其尺寸和形狀誤差小于允許偏差。
4、切片
由于硅的硬度很高,在這個過程中,用一個內(nèi)徑邊緣嵌有直徑顆粒的圓鋸片將晶棒切割成碎片。
5、圓邊
由于新切割的晶片外邊緣尖銳,硅單晶為脆性材料,為了避免邊角開裂影響晶片強度,破壞晶片表面光潔度,給后續(xù)工藝帶來污染顆粒,必須使用專用計算機控制設備自動修整晶片的邊緣形狀和外徑尺寸。
從大的角度來看,晶片生產(chǎn)包括兩個主要步驟:晶片棒制造和晶片制造,其可細分為以下主要過程(晶片棒制造僅包括以下過程,其余都是晶片制造,因此它們有時被統(tǒng)稱為晶片后切片的后處理過程),。
上述就是針對于半導體晶棒在制作的工藝流程的內(nèi)容介紹,那么本文到這里也就結束了,感謝你的閱讀!