半導(dǎo)體晶棒的生長(zhǎng)工藝在制造過程中非常重要，基于此，下面就讓杭州半導(dǎo)體晶棒的小編為你介紹下半導(dǎo)體晶棒的成長(zhǎng)工藝吧。

1、融化

將塊狀高純多晶硅置于坩堝中，加熱至熔點(diǎn)1420℃以上，使其完全熔化。

2、頸部增長(zhǎng)

待硅熔漿溫度穩(wěn)定后，慢慢向<1.0.0>方向插入晶種，慢慢拉起晶種，使直徑減小到一定尺寸（一般為6mm左右）并保持直徑不變。 .. , 并延長(zhǎng) 100-200 毫米以消除種粒排列和取向的差異。

3、晶冠的生長(zhǎng)

頸部長(zhǎng)大后，慢慢降低提升速度和溫度，逐漸將頸部直徑增加到所需的尺寸（5、6、8、12英寸等）。

4、晶體生長(zhǎng)

繼續(xù)調(diào)整提升速度和熔化溫度，使鋼錠直徑不發(fā)生變化，直到鋼錠長(zhǎng)度達(dá)到規(guī)定值。

5、尾部增長(zhǎng)

當(dāng)晶棒長(zhǎng)度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，逐漸加快提升速度，逐漸提高熔化溫度，逐漸減小晶棒直徑，避免熱偏移和滑移的發(fā)生壓力，完全分開。至此，就得到了一根完整的晶棒。